? ? ? 多欽儀表（上海）有限公司專注于流量計與服務? 新聞速遞

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? ? ? ?2022年9月27日，2022年度上海市質(zhì)量協(xié)會質(zhì)量技術獎獲獎名單公布。上海計量院 “集成電路材料關鍵質(zhì)量參數(shù)的檢測體系研究與應用”項目榮獲綜合類質(zhì)量創(chuàng)新成果優(yōu)秀獎。

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　　上海市質(zhì)量協(xié)會質(zhì)量技術獎圍繞重點產(chǎn)業(yè)、重點領域質(zhì)量提升工程以及質(zhì)量技術基礎建設等方向，獎勵本市企事業(yè)單位在質(zhì)量技術創(chuàng)新領域做出突出貢獻的項目成果和個人。

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　　“集成電路材料關鍵質(zhì)量參數(shù)的檢測體系研究與應用”項目通過研究國際先進材料的質(zhì)量體系、剖析先進工藝流程參數(shù)、調(diào)研國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)使用材料的質(zhì)量要求，進而確定了我國集成電路材料的關鍵技術指標。結(jié)合高純試劑的質(zhì)量控制方案，通過開發(fā)采樣和前處理方法，優(yōu)化實驗環(huán)境質(zhì)量控制的方案，細化檢測步驟，優(yōu)化設備參數(shù)等，形成了以痕量陰陽離子、顆粒為關鍵參數(shù)的集成電路材料質(zhì)量體系。開發(fā)了包含濕電子化學品、光刻膠、拋光液中關鍵技術指標，如：痕量陽離子、陰離子、顆粒的檢測方法，突破了痕量檢測技術的瓶頸，滿足10nm-14nm工藝制程的質(zhì)量要求。

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　　集成電路材料是集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎，也是集成電路產(chǎn)業(yè)有序發(fā)展的保障。該項目突破了產(chǎn)業(yè)內(nèi)多個“卡脖子”的關鍵難題，解決了材料上下游關鍵參數(shù)不明確、質(zhì)量要求不一致的問題，打通了產(chǎn)業(yè)上下游的質(zhì)量體系，打破了國外對材料驗收的技術壁壘，能夠較好地服務于集成電路材料國產(chǎn)化驗證項目和重要國產(chǎn)材料替代項目，助力國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。

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《轉(zhuǎn)載上海計量院》

?多欽儀表技術服務團隊專注于流量計近20年，特別推薦： 渦街流量計、電磁流量計、蒸汽流量計、氣體流量計、橢圓齒輪流量計、金屬管浮子流量計、超聲波流量計等多種流量計的計量服務，特別是流量GPRS手機端、PC端數(shù)據(jù)在線監(jiān)控等多方面技術服務。

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